氧氣質量流量計

氧氣質量流量計

AEORHC 模擬通訊質量流量控制器（MFC）

• 規格

• 4800 系列
  

• Full Scale Range (N2 Eqv)

• 單氣體2CM-50SLM

• Control Valve Type 閥門類型

• 常閉式螺線管

• Fitting 接頭

• 1/4"VCR兼容 or 1/4"Swagelok兼容

• Seals 密封

• 橡膠 Viton/FFKM/金屬密封

• Response Time 響應時間

• 到達設定點±2% 所需時間≤1Sec

• Accuracy 精度

• ≤滿量程1%

• Linearity 線性度

• ≤ 滿量程的±1%

• Repeatability 重復性

• ≤ 滿量程的±0.5%

• Differential Pressure 壓差

• 7 - 40psi

• 10 - 40psi

• Leak lntegrity 漏率

• Max:1x10-7Pa.m3/sec (He)

• Control Range 控制范圍

• 滿量程的5-100%

• Max Operating Pressure 高操作壓力

• 70psi

• Proof Pressure 承受壓力

• Z大值150psi

• Communication Type 通訊模式

• 模擬0-5V/4-20mA

• Input Power

  輸入功率

• +15VDC ±2% at 25mA

  -15VDC ±2% at 180mA

• Command Signal 控制信號

• 模擬信號0-5 VDC

• Output Signal 輸出模擬信號

• 模擬信號0-5 VDC

• Power Consumption 功耗

• 3.1W

• Temperature Range 溫度范圍

• 5-45 Deg C

• Materials 材料

• 316LSS,PTFE

• Weight 重量

• 0.8kg

 氧氣質量流量計

結構緊湊

高精度

穩定性好

可測量腐蝕性氣體