質量式氣體流量計

質量式氣體流量計

Aera流量計 Aera 氣體質量流量控制器

FC-R7700CD  FC-R7710CD FC-R7720CD

Aera創建于美國，是一家提供流體測量和控制產品及全套解決方案的跨國高科技企業，擁有研發及運營團隊，掌握行業先進的流體測量及控制技術，專注于高科技工業領域的廣泛應用，包括半導體、新能源、 新材料，平板顯示、數據存儲、工業鍍膜、食品及化工分析等。Aera 的產品包高性能的氣體質量流量控制儀器及測量儀器，氣體工藝整體解決方案和服務支持方案。Aera始終致力于為客戶開發優化的解決方案及相關產品，客戶包括但不限于原始設備制造商（OEM）和終端用戶（END-USER）。

質量式氣體流量計 性能：

快速的響應,響應時間＜2秒.

精度≤1%FS   線性度小于等于0.5%FS  重復性≤0.2%FS

易于整合——標準連接器和尺寸

高度的可靠性和穩定性

特點:

耐腐蝕性，流量范圍從10sccm－200slm

VCR® 及 Swagelok®共容性連接

橡膠密封

常關或常開的電磁控制閥

泄漏率1 x 10-7 atm-cc/sec of He